ในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ความบริสุทธิ์ของน้ำเป็นสิ่งสำคัญต่อกระบวนการผลิตและคุณภาพของผลิตภัณฑ์ ระบบน้ำบริสุทธิ์พิเศษ EDI (Electrodeionization) เป็นอุปกรณ์ที่ขาดไม่ได้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งสามารถผลิตน้ำบริสุทธิ์พิเศษที่มีคุณภาพสูงสำหรับการล้างเวเฟอร์ การเจือจางสารเคมี และขั้นตอนสำคัญอื่น ๆ ในกระบวนการผลิต
ระบบ EDI ทำงานโดยการผสมผสานเทคโนโลยี Electrodeionization และ RO (Reverse Osmosis) ในการขจัดไอออนตกค้างในน้ำผ่านเยื่อแลกเปลี่ยนไอออนและสนามไฟฟ้า โดยระบบนี้มักจะติดตั้งเป็นส่วนเสริมที่อยู่ด้านหลังของระบบ RO เพื่อยกระดับคุณภาพน้ำให้ได้มาตรฐานน้ำบริสุทธิ์พิเศษ
การประยุกต์ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
- การล้างเวเฟอร์:ในการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ กระบวนการโฟโตลิโทกราฟีและการกัดเซาะแต่ละขั้นตอนต้องล้างอย่างละเอียด น้ำบริสุทธิ์พิเศษเป็นสิ่งที่ขาดไม่ได้ ระบบ EDI ช่วยรับประกันว่าน้ำที่ใช้ล้างไม่มีสิ่งปนเปื้อนหรือไอออนที่อาจก่อให้เกิดมลพิษต่อพื้นผิวเวเฟอร์ และช่วยรักษาคุณภาพผลิตภัณฑ์ให้คงที่
- การเจือจางสารเคมี:ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ มีการใช้สารเคมีที่มีฤทธิ์กัดกร่อน เช่น กรดซัลฟูริกและกรดไฮโดรฟลูออริก การใช้น้ำบริสุทธิ์พิเศษในการเจือจางสารเคมีเหล่านี้ช่วยรับประกันว่าปฏิกิริยามีความแม่นยำและไม่เกิดสิ่งปนเปื้อนเพิ่มเติม
- ระบบน้ำหล่อเย็น:ในการทำงานของอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ระบบน้ำหล่อเย็นต้องใช้น้ำปริมาณมาก น้ำที่ผลิตโดยระบบ EDI ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการหล่อเย็น ลดการเกิดตะกรันในอุปกรณ์ และยืดอายุการใช้งานของเครื่องจักร
การประยุกต์ใช้ในอุตสาหกรรมอื่น
ระบบน้ำบริสุทธิ์พิเศษ EDI ไม่ได้จำกัดการใช้งานในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เท่านั้น แต่ยังมีการใช้ในอุตสาหกรรมยา อิเล็กทรอนิกส์ และพลังงานแสงอาทิตย์ ด้วยการพัฒนากฎหมายสิ่งแวดล้อมในประเทศไทยและการยกระดับอุตสาหกรรม บริษัทต่าง ๆ จึงให้ความสำคัญกับการใช้ระบบบำบัดน้ำที่ประหยัดพลังงานและเป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อมมากขึ้น
#น้ำเสีย #น้ำบริสุทธิ์ #บำบัดน้ำ #บำบัดอากาศ #จำหน่ายอุปกรณ์ในประเทศไทย #เครื่องรีดสกรู #เครื่องกรองแผ่นกรอบ #เครื่องรีดตะกอนแบบสายพาน #เครื่องเป่าลม #หัวเติมอากาศ #ระบบ MBR #ระบบ DAF #ปั๊มตะกอน #ตัวควบคุม PH/ORP #ระบบ RO #ถังเคลือบแก้วประกอบ(GFS)